一、核心原理與類型

近年來，MEMS 技術(shù)的應(yīng)用顯著擴(kuò)展了傳感器性能。例如，Pepperl+Fuchs 的 VIM82PP-S1V16-21E-I422C28 采用 MEMS 技術(shù)，支持 SIL2/Pld 安全等級，可在危險區(qū)域（Zone 1/21）中精確測量 10-1000Hz 范圍內(nèi)的振動速度，精度達(dá) ±0.1mm/s。MEMS 傳感器還能實現(xiàn) DC 響應(yīng)（0Hz），適用于靜態(tài)或低頻振動監(jiān)測。

二、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)與性能

1. 靈敏度：傳統(tǒng)磁電式傳感器靈敏度通常為 20mV/mm/s（如摘要 1），而 MEMS 傳感器可通過差分電容檢測技術(shù)將噪聲密度降至 20μg/√Hz 以下，提升微小振動檢測能力。

2. 頻率范圍：覆蓋 10-1000Hz 是主流（如摘要 1、2），部分型號 支持 16-1000Hz 高頻響應(yīng)，適用于齒輪箱等復(fù)雜工況。

3. 量程：常見量程為 0-16mm/s（RMS），部分型號（如三參數(shù)探頭 KR939SB3）支持 0-200mm/s（RMS）的寬量程測量。

4. 輸出類型：包括模擬信號（4-20mA、0-10V）、繼電器開關(guān)量（用于報警）及無線傳輸（如藍(lán)牙 5.0、2.4GHz 無線傳感網(wǎng)絡(luò)）。

三、應(yīng)用領(lǐng)域與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

1. 工業(yè)設(shè)備監(jiān)測：在風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、泵等旋轉(zhuǎn)機(jī)械中，傳感器可實時監(jiān)測振動速度，提前發(fā)現(xiàn)軸承磨損、齒輪嚙合異常等故障。例如，江蘇某新能源公司通過部署 VBL50 振動傳感器，成功識別攪拌器齒輪箱軸承外圈早期損傷，避免了漿料混合不均的生產(chǎn)風(fēng)險。

2. 行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)遵循：ISO 10816/20816 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了振動速度評估限值，例如電機(jī)軸承振動速度超過 4.5mm/s（RMS）即需預(yù)警。Pepperl+Fuchs 等廠商的傳感器直接符合該標(biāo)準(zhǔn)，簡化了合規(guī)性部署。

3. 特殊場景應(yīng)用：MEMS 傳感器支持高溫環(huán)境（如 PCB Piezotronics 的 HT 型號可達(dá) 649℃），而防爆設(shè)計（如 VIM82PP）滿足石化、采礦等危險區(qū)域需求。

四、安裝與信號處理

1. 安裝要點(diǎn)：

• 優(yōu)先選擇螺栓或磁座剛性固定，避免使用雙面膠等柔性連接，確保傳感器與設(shè)備振動方向一致。

• 清潔安裝表面并檢查自振頻率，確保其高于被測頻率 5-10 倍以避免共振干擾。

2. 信號調(diào)理：輸出信號需通過放大器、濾波器處理，例如 ifm 的 VTV 變送器將原始信號轉(zhuǎn)換為 4-20mA 標(biāo)準(zhǔn)信號，直接接入 PLC 或變頻器。部分傳感器（如 VVB）內(nèi)置 FFT 分析功能，可通過 IO-Link 接口輸出振動峰值、摩擦系數(shù)等高級參數(shù)。

五、與其他傳感器的對比